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渦輪分子泵主要分為哪兩種呢?

     渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。優(yōu)點(diǎn)是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲和解吸效應(yīng),無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
    是由動葉輪與靜葉輪組合而成,比擴(kuò)散泵節(jié)能、無油蒸汽污染,同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),是目前國內(nèi)大抽速的分子泵,動葉輪采用變截面加工,其強(qiáng)度增加重量減少,使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。
    渦輪分子泵主要分為哪兩種:
    主要有立式和臥式兩種。
    動葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動的速度(一般為150~400米/秒)。單個葉輪的壓縮比很小,渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。20個動葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。
    渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲和解吸效應(yīng),無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

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