渦輪分子泵是一種高真空泵，用于從氣體系統中抽取氣體分子。它由一系列的轉子和靜子組成，通過旋轉產生高速氣流，將氣體分子排出系統。本文將介紹渦輪分子泵的工作原理、設計和應用。

　　渦輪分子泵的工作原理基于幾何壓縮效應和動能轉換原理。當氣體分子進入渦輪分子泵時，它們被引導到一個旋轉的轉子中。轉子上有許多刀片，它們旋轉時加速氣體分子，并將其推向周圍的壁面。接著，氣體分子在壁面上發生彈性碰撞，被反彈回轉子中心，并與其他分子重新碰撞。這個過程會使得氣體分子在轉子內不斷地碰撞、擴散、再碰撞并逐漸失去動能。最終，氣體分子被推到靜子中，并通過真空口排出系統。

　　渦輪分子泵的操作步驟

　　1、啟動前的準備：在開始使用分子泵之前，確保冷卻系統已經接通并正常運行。同時，打開前級管道閥，并啟動機械泵（前級泵）。

　　2、粗抽階段：關閉高真空閥和粗抽閥，打開前級管道閥，啟動粗抽泵開始對真空室進行抽氣。當真空室內的壓力降到150~100 Pa時，關閉粗抽閥，打開前級管道閥，然后啟動分子泵。

　　3、加速過程：分子泵從靜止狀態達到額定轉速通常需要5到10分鐘。如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，應在泵加速到額定轉速后加注液氮。

　　4、停機操作：在停機時，先關閉高真空閥。如果有液氮冷阱，還需要將冷阱加熱。在冷阱達到平衡溫度后，關掉前級管道閥，再切斷分子泵電動機的電源使分子泵的轉子減速。

　　渦輪分子泵的注意事項

　　1、防返流措施：在停機過程中，為了防止機械泵油蒸氣和渦輪分子泵潤滑油蒸氣的返流，應在切斷渦輪分子泵電動機的電源后，用一股干燥的反向氣流對分子泵進行放氣。

　　2、避免低轉速運行：不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運轉，這可能會影響泵的性能和壽命。

　　3、防護措施：分子泵入口應裝設防護網，以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片。