復合式分子泵的保養是確保其長期穩定運行的關鍵

　　復合式分子泵是一種高性能的真空泵，結合了多種技術的優點，具有大抽速、高壓縮比和高可靠性等特點，被廣泛應用于高真空、超高真空領域。其結構形式多種多樣，其中主要包括渦輪葉片不盤式牽引泵的串聯組合和渦輪葉片不筒式牽引泵的串聯組合。渦輪級主要用于提高泵的抽速，而牽引級則主要用于增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　復合式分子泵的保養是確保其長期穩定運行和延長使用壽命的關鍵。

　　1、避免頻繁啟停：分子泵在勻速工作時，轉子葉片僅受到離心力的作用，而在加速和減速時，葉片還會受到轉動切線方向的力，這對葉片的疲勞壽命貢獻更大。頻繁啟停還會導致內部發熱嚴重，加劇軸承磨損。

　　2、選擇合適的冷卻方式：根據分子泵的規格和工作環境，選擇適當的冷卻方式，如自然冷卻、強制風冷或水冷，并保持環境溫度在5~35攝氏度之間。

　　3、避免空擋滑行：長時間在共振頻率運轉會增加軸承負荷，進而增加故障風險。建議停機時手動充氣或使用專用充氣閥快速停機。

　　4、監測前級真空：分子泵必須配合合適的前級泵工作，監測排氣口壓力，避免因前級泵性能下降而使分子泵排氣壓力過高。

　　5、定期更換潤滑油：分子泵油量應處于油標上下限之間，不得低于油標下限。正常工作后每工作4000小時或一年至少更換一次潤滑油。

　　6、注意沖擊防護：分子泵是高旋轉機械，動靜片間間隙很小，不能抗過大的沖擊。

　　7、檢查和維護：經常保持分子泵外殼的清潔，正常生產過程中須經常檢查分子泵溫度，聽是否有異常震動和聲音。

　　8、處理故障：當分子泵出現故障時，應根據故障提示進行相應處理。例如，軸承燒毀可能是由于缺乏定期維護、冷卻不良、未及時換油或抽除的氣體中含有大量粉塵等原因。