擴散泵機組是一種高真空獲得設備,以油擴散泵為主泵,通常與閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵(前級泵)等組成高真空抽氣系統。它利用從傘形噴嘴噴出的高速工作介質蒸汽射流,攜帶擴散到蒸汽射流里的被抽氣體,從而實現抽真空的功能。
擴散泵機組的工作原理基于分子撞擊擴散的過程。具體來說,由電加熱器(電爐)將裝在泵腔(油鍋)內的液態工作介質加熱,使其變成蒸汽。蒸汽通過安裝在泵腔里的泵芯噴嘴高速噴出,形成低密度、高速度的蒸汽射流。被抽氣體通過擴散進入蒸汽射流中,被下一級蒸汽射流帶走,最后由前級泵排出。而工作蒸汽到達水冷的泵壁后,冷凝成為液態沿著泵壁流回油鍋,這樣周而復始地工作,形成了擴散泵的正常抽氣過程。
1、高真空度:
能夠獲得較高的真空度,通常在10^-2至10^-4Pa范圍內,部分高性能機組甚至可達到更高真空度,如10^-6Pa。
2、大抽氣能力:
具有強大的抽氣能力,抽速范圍廣泛,從190L/S至49000L/S(或更高,如某些機組可達到120000L/S)不等,可根據具體需求進行選擇。
3、穩定連續工作:
能夠長時間穩定連續工作,適用于需要持續高真空環境的場合。
4、廣泛應用:
被廣泛應用于電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫藥、原子能、宇宙探測等高科技領域,以及各種真空爐、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥設備等。
5、結構組成:
通常由油擴散泵作為主泵,與閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵(前級泵)等組成一個完整的高真空抽氣系統。
6、性能優化:
在設計和制造過程中采用了多種優化措施,如采用拉伸工藝減少焊縫、增加強度、降低放氣量;設置油觀察窗、注油和放油口、泵油控溫過熱保護裝置、冷卻水溫過熱警報裝置等,以提高機組的性能和可靠性。
7、節能環保:
隨著技術的不斷進步,現代擴散泵機組在節能環保方面也取得了顯著進展。例如,通過優化加熱效率、降低能耗、減少返油率等措施,降低了機組的運行成本和對環境的影響。