復合式分子泵的安裝方法及注意事項

　　復合式分子泵是一種高性能的真空泵，結合了多種技術的優點，具有大抽速、高壓縮比和高可靠性等特點，被廣泛應用于高真空、超高真空領域。其結構形式多種多樣，其中主要包括渦輪葉片不盤式牽引泵的串聯組合和渦輪葉片不筒式牽引泵的串聯組合。渦輪級主要用于提高泵的抽速，而牽引級則主要用于增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　以下是復合式分子泵的安裝方法及注意事項：

　　一、安裝前準備

　　清潔環境

　　選擇干凈、干燥、無粉塵的環境進行安裝，避免雜質進入泵內。

　　佩戴無塵手套和口罩，防止污染。

　　檢查設備

　　確認分子泵外觀無損傷，轉子轉動靈活，無卡滯或異常聲響。

　　檢查電源線、控制器和連接法蘭是否完好。

　　工具準備

　　準備專用工具（如扭矩扳手、法蘭對中工具）、真空密封脂、清潔布等。

　　確保工具無油污或雜質。

　　二、安裝步驟

　　1.安裝位置確認

　　將分子泵安裝在真空系統的合適位置，通常與前級泵（如旋片泵或干泵）串聯使用。

　　確保泵體水平，避免傾斜導致振動或損壞。

　　2.法蘭連接

　　在法蘭密封面均勻涂抹真空密封脂（如氟橡膠脂），避免過量導致污染。

　　使用扭矩扳手按規定力矩擰緊螺栓，確保法蘭連接緊密且不漏氣。

　　對中檢查：使用法蘭對中工具確保泵與系統法蘭同軸，偏差不超過允許范圍。

　　3.電氣連接

　　將分子泵電源線連接到控制器，注意區分正負極和信號線。

　　檢查控制器參數設置（如轉速、啟停程序）是否與泵匹配。

　　4.前級泵連接

　　將分子泵的排氣口通過管路連接到前級泵的進氣口，確保管路密封性。

　　安裝氣動閥或截止閥，便于控制氣流和保護泵。

　　5.系統檢漏

　　啟動前級泵，對系統進行抽真空，用氦質譜儀或壓力計檢測連接部位是否漏氣。

　　確保分子泵與系統之間的漏率符合要求（通常≤1×10??Pa·m³/s）。

　　三、啟動與調試

　　預啟動檢查

　　確認前級泵已運行并達到分子泵啟動所需的真空度（通常≤10 Pa）。

　　檢查控制器參數設置是否正確，如轉速、加熱電流等。

　　啟動分子泵

　　通過控制器啟動分子泵，觀察轉速是否正常上升，有無異常振動或噪音。

　　初始運行階段需低速預熱（如100~200 Hz），然后逐步提升至額定轉速。

　　性能測試

　　用真空計測量系統極限真空度，確認是否達到設計要求（如1×10??~1×10??Pa）。

　　檢查泵的抽速和穩定性，必要時調整前級泵流量或系統參數。

　　四、注意事項

　　避免污染

　　安裝過程中嚴禁油脂、灰塵或纖維進入泵內，尤其是轉子和軸承部分。

　　使用專用清潔工具和無紡布，避免劃傷密封面。

　　防震與固定

　　泵體需牢固固定在基座上，使用減震墊或彈簧片減少振動傳遞。

　　避免泵體受到沖擊或外力擠壓。

　　溫度控制

　　分子泵運行時會產生熱量，需確保散熱良好，避免長時間高溫運行。

　　定期檢查冷卻系統（如風冷或水冷）是否正常。

　　停機維護

　　關機時先停止分子泵，再關閉前級泵，防止反流污染。

　　定期檢查轉子磨損情況、密封件老化程度，及時更換易損件。