擴(kuò)散泵機(jī)組是一種高真空獲得設(shè)備，以油擴(kuò)散泵為主泵，通常與閥門、水冷擋板、管道、機(jī)械真空泵（前級(jí)泵）等組成高真空抽氣系統(tǒng)。它利用從傘形噴嘴噴出的高速工作介質(zhì)蒸汽射流，攜帶擴(kuò)散到蒸汽射流里的被抽氣體，從而實(shí)現(xiàn)抽真空的功能。

　　擴(kuò)散泵機(jī)組的工作原理基于分子撞擊擴(kuò)散的過程。具體來說，由電加熱器（電爐）將裝在泵腔（油鍋）內(nèi)的液態(tài)工作介質(zhì)加熱，使其變成蒸汽。蒸汽通過安裝在泵腔里的泵芯噴嘴高速噴出，形成低密度、高速度的蒸汽射流。被抽氣體通過擴(kuò)散進(jìn)入蒸汽射流中，被下一級(jí)蒸汽射流帶走，最后由前級(jí)泵排出。而工作蒸汽到達(dá)水冷的泵壁后，冷凝成為液態(tài)沿著泵壁流回油鍋，這樣周而復(fù)始地工作，形成了擴(kuò)散泵的正常抽氣過程。

　　擴(kuò)散泵機(jī)組的安裝步驟：

　　1、就位安裝：

　　將擴(kuò)散泵機(jī)組放置在基礎(chǔ)上，用墊鐵將機(jī)組找正找平。對(duì)于大型機(jī)組，可能需要使用型鋼支架進(jìn)行粗水平調(diào)整。

　　安裝后同一組墊鐵應(yīng)點(diǎn)焊在一起，以免受力時(shí)松動(dòng)。

　　2、地腳螺栓安裝：

　　對(duì)于無隔振安裝，裝上地腳螺栓，螺桿應(yīng)垂直，螺桿外露長度宜為螺桿直徑的1/2。

　　進(jìn)行二次灌漿時(shí)，混凝土的強(qiáng)度應(yīng)比基礎(chǔ)高1~2級(jí)，且不低于C25。灌漿時(shí)應(yīng)搗實(shí)，避免使地腳螺栓傾斜和影響機(jī)組安裝精度。

　　3、隔振安裝（如需要）：

　　臥式機(jī)組：在鋼筋混凝土基座或型鋼基座下安裝橡膠減振器（墊）或彈簧減震器。

　　立式機(jī)組：在水泵機(jī)組底座或鋼墊板下安裝橡膠減振器（墊）。

　　確保減振墊或減振器的型號(hào)規(guī)格、安裝位置符合設(shè)計(jì)要求，且同一基座下的減振器（墊）應(yīng)采用同一生產(chǎn)廠的同一型號(hào)產(chǎn)品。

　　4、檢測(cè)與調(diào)整：

　　使用水平儀和線墜對(duì)機(jī)組進(jìn)出口法蘭和底座加工面進(jìn)行測(cè)量與調(diào)整，確保機(jī)組水平度或垂直度符合要求。

　　對(duì)于采用聯(lián)軸器連接的機(jī)組，用百分表、塞尺等在聯(lián)軸器的軸向和徑向進(jìn)行測(cè)量和調(diào)整，確保聯(lián)軸器軸向傾斜和徑向位移在允許范圍內(nèi)。

　　5、潤滑與加油：

　　檢查機(jī)組的油杯并加油，確保潤滑油充足且質(zhì)量符合要求。

　　盤動(dòng)聯(lián)軸器，檢查機(jī)組盤車是否靈活，無異?，F(xiàn)象。