真空隔膜閥是利用閥桿將橡膠膜直接壓在閥座上，用來截止或接通真空系統。采用連接形式有活套法蘭連接、快卸法蘭連接、焊接式連接。焊接式連接又分焊接式I型連接〔即兩端焊接〕，焊接式II型連接〔即一端焊接，另一端插入〕。閥門適用的工作介質為空氣及非腐蝕性氣體。

　　真空隔膜閥的結構簡單、流體阻力小、流通能力較同規格的其他類型閥大；無泄漏，能用于高粘度及有懸浮顆粒介質的調節。隔膜把介質與閥桿上腔隔離，所以沒有填料介質也不會外漏。但是，由于隔膜和襯里材料的限制，耐壓性、耐溫性較差，一般只適用于1.6MPa公稱壓力和150℃以下。

　　真空隔膜閥和隔膜閥之間的主要區別：

　　1、工作壓力范圍：主要用于真空系統中，其工作壓力范圍通常在大氣壓以下，可以實現高真空條件下的密封。而隔膜閥可以適用于更廣泛的工作壓力范圍，包括正壓、負壓和常壓條件。

　　2、密封方式：采用雙隔膜結構，通過外部壓縮空氣或氣體對隔膜進行驅動，實現閥門的開閉。由于真空系統中的氣壓較低，隔膜閥需要采用特殊的密封材料和結構，以確保有效的密封性能。而隔膜閥可以使用不同的密封材料，如橡膠、聚四氟乙烯（PTFE）等，以適應不同的工作條件。

　　3、驅動方式：通常采用氣動或電磁驅動方式，通過外部壓縮空氣或電磁線圈對隔膜進行驅動。而隔膜閥可以采用手動、氣動、電動等多種驅動方式，以滿足不同的控制需求。

　　4、應用領域：由于真空隔膜閥在結構和材料上的特殊要求，主要應用于真空系統中，如半導體制造、真空冷凍等領域。而隔膜閥由于其較大的工作壓力范圍和多種驅動方式，廣泛應用于化工、石油、制藥、食品等行業中的流體控制和調節。

　　5、結構特點：真空隔膜閥的隔膜通常是金屬材料，如不銹鋼，具有較高的強度和耐腐蝕性能。而隔膜閥的隔膜可以是金屬或彈性材料，如橡膠，根據具體的應用需求選擇。