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復合分子泵的工作原理及優點

  復合分子泵是一種高效的真空泵,電子束加熱的方式可以提供高溫蒸汽,蒸汽通過在內表面反彈,可以達到高度真空的效果,是用于高真空環境下的氣體和同體基發、清洗和流是傳感器測試的理想設備。復合分子泵結合了分子泵和擴散泵的特點,具有高抽速,高極限真空,積灰小,穩定性好等特點,被廣泛應用于銅氫氣氣化成膜、金屬蒸鍍、光刻、等離子體刻蝕、高能物理實驗、電視管制造等領域。
 
  復合分子泵的工作原理是利用特殊的高溫和高速度來工作的。泵啟動時,汽化器內部的石墨材料加熱,液態或固態物質受熱后轉化為氣態蒸汽便開始向泵頭傳導。泵頭形成高速旋轉氣流,氣體通過旋轉氣流進入分子泵,在分子泵內部,氣體分子將被誘導成為高速勻速熱量,進一步碰撞加速,最終變成極空氣流。極空氣流將通過擴散泵進一步加速,速度將達到大于1000m/s,進而被排出到大氣中。
 
  復合分子泵因其高效率和穩定性被廣泛應用,優點如下所示:
 
  1、高效率。復合分子泵的抽氣速度比桶式分子泵高,極制動距離短,積灰率低。
 
  2、高真空度。由于復合分子泵在高溫狀態下工作,所以能夠達到高真空度,是制造高精度元器件的理想設備。
 
  3、穩定性好。復合分子泵的泵頭組件的部件都進行精密加工,潤滑,從而降低了因摩擦和磨損而造成的振動和噪音。
  
 
  總之,復合分子泵是目前高真空技術中應用很廣泛的真空泵浦之一,能夠提供穩定、高效、可靠的工作,助力實驗室研究和工業制造。

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