?羅茨旋片真空機(jī)組：原理、特點(diǎn)與應(yīng)用

　　一、概述‌
 

　　羅茨旋片真空機(jī)組是一種高效、多級(jí)組合的真空抽氣系統(tǒng)，由‌羅茨泵(Roots Pump)‌和‌旋片式真空泵‌串聯(lián)組成。該機(jī)組結(jié)合了羅茨泵的大抽速能力和旋片泵的高壓縮比優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于需要中高真空(10?²~10?? Pa)的工業(yè)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、醫(yī)藥化工等。
 

　　‌二、工作原理‌
 

　　‌1、羅茨泵(主泵)‌
 

　　•采用一對(duì)同步反向旋轉(zhuǎn)的葉輪(轉(zhuǎn)子)，通過(guò)非接觸式嚙合將氣體從進(jìn)氣口推向排氣口。
 

　　•無(wú)內(nèi)部壓縮，依賴高速旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)大抽速(可達(dá)1000~20000 m³/h)。

 

　　•需搭配前級(jí)泵(旋片泵)使用，因羅茨泵自身無(wú)法直接排放大氣壓氣體。

 

　　‌2、旋片泵(前級(jí)泵)‌
 

　　•通過(guò)偏心轉(zhuǎn)子及旋片將氣體壓縮并排出，提供初級(jí)真空(極限真空約10?² Pa)。

 

　　•為羅茨泵創(chuàng)造低背壓環(huán)境，確保機(jī)組高效運(yùn)行。

 

　　‌3、協(xié)同工作流程‌
 

　　•氣體先由旋片泵抽至中真空范圍(1~10 Pa)，隨后羅茨泵啟動(dòng)，進(jìn)一步將真空度提升至更高水平。

 

　　‌三、技術(shù)特點(diǎn)‌
 

　　‌1、高效節(jié)能‌
 

　　•羅茨泵在低壓力區(qū)間抽速顯著高于單級(jí)旋片泵，能耗比傳統(tǒng)機(jī)組降低30%~50%。

 

　　‌2、寬泛的工作范圍‌
 

　　•覆蓋中真空至高真空(10?~10?? Pa)，適應(yīng)多變工藝需求。

 

　　‌3、低振動(dòng)與低污染‌
 

　　•羅茨泵無(wú)油設(shè)計(jì)減少污染，旋片泵可選油潤(rùn)滑或干式(無(wú)油旋片泵)，滿足潔凈要求。

 

　　‌4、智能控制‌
 

　　•現(xiàn)代機(jī)組配備PLC控制系統(tǒng)，自動(dòng)調(diào)節(jié)泵速、過(guò)載保護(hù)及啟停順序。

 

　　‌四、典型應(yīng)用場(chǎng)景‌
 

　　‌1、光伏與半導(dǎo)體‌
 

　　•用于晶圓鍍膜、刻蝕設(shè)備的真空環(huán)境維持。

 

　　‌2、化工與制藥‌
 

　　•溶劑回收、真空干燥、分子蒸餾等工藝。

 

　　‌3、科研與實(shí)驗(yàn)室‌
 

　　•同步輻射裝置、真空冷凍干燥機(jī)等。

 

　　‌4、食品包裝‌
 

　　•快速抽除包裝內(nèi)空氣，延長(zhǎng)保質(zhì)期。