分子泵機組憑借穩定的真空控制能力與多元適配特性,已在半導體、光伏、科研實驗等領域實現初步應用,為行業高真空環境搭建需求提供新選擇,成為推動相關產業生產與研發效率提升的設備新支撐。
一、模塊化設計:構建全流程真空解決方案
•核心部件協同:機組以分子泵為核心,通過高速轉子定向輸送氣體分子,實現高等級真空度;搭配的前級真空泵提供前置真空條件,確保分子泵穩定啟動;
•智能監控輔助:真空測量系統實時追蹤真空度變化,為參數調整提供精準數據;控制系統整合各部件運行邏輯,實現自動化啟停與狀態監控,大幅降低人工操作壓力。
各部件協同運轉,覆蓋從真空獲取到監控的全流程,滿足不同場景下的真空需求。

二、性能優勢:貼合行業實際作業需求
•真空覆蓋廣:可從低真空延伸至超高真空,既能滿足半導體芯片刻蝕環節對高潔凈度真空的要求,也能適配光伏行業薄膜沉積工藝的精準真空控制;
•運行體驗佳:運行時噪音低,避免干擾生產車間或實驗室環境;設備啟動速度快,縮短從開機到達到目標真空度的耗時,有效提升作業效率;
•維護更便捷:模塊化布局讓后期維護操作簡單,部件拆卸與更換便捷,減少設備停機時間,保障生產與實驗的連續性。
三、多領域落地:為產業升級注入新動力
目前,該機組已在多個關鍵領域實現應用,為行業發展提供設備支持:
•半導體行業:為芯片光刻、鍍膜等關鍵工序提供穩定真空環境,助力提升芯片生產精度與成品率;
•光伏領域:通過精準控制真空度,保障太陽能電池片制備中的薄膜沉積質量,推動電池轉換效率提升;
•科研領域:成為高校與科研機構的重要實驗設備,支持材料科學、物理學等前沿研究,提供可靠真空條件;
其他行業:電子器件封裝、真空鍍膜等領域也開始引入該機組,為技術創新與產業升級注入新動力。