復(fù)合式分子泵按結(jié)構(gòu)可分為哪幾種呢？

　　隨著復(fù)合式分子泵的不斷改進(jìn)，其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間，并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。

　　復(fù)合式分子泵用來獲得高真空和超高真空，其廣泛應(yīng)用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導(dǎo)體和光學(xué)元器件制造、平板顯示、太陽能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術(shù)的電子、冶金、化工、科研等眾多領(lǐng)域。

　　復(fù)合式分子泵的形式很多，按結(jié)構(gòu)分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用來提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級數(shù)在l0級以內(nèi)。牽引級主要用來增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　盤式牽引級是在平板圓盤平面上按一定規(guī)律開出數(shù)條型線溝槽，然后將數(shù)塊圓盤串接起來構(gòu)成，型線有阿基米德螺線、對數(shù)螺線、圓弧線等。抽氣時(shí)靠高速轉(zhuǎn)動的圓盤對氣體分子進(jìn)行“拖動”，使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動，從而達(dá)到抽氣目的。

　　筒式牽引級是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進(jìn)行動量傳遞，提高泵的抽氣效果。在設(shè)計(jì)制造中，可以通過改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)來達(dá)到較理想的抽氣效果。